Boron11 trichloride Semidocouctor Dopant Secoundouctor Smaged Etching
Oloa Folasaga
I le vevela vevela ma le faʻamalosi, Boron Trichloride (BCL 3 ) e leai se lanu asu, o le afi, acidic manogi. O Bonron Trichloride Decomptos i Hydrochloric Acad ma le Bortic Acced o le vevela o le vai, ma BCL 3 decomsos esters i le hydrochlorips amters i le hydrocholoc amters i le hydrochlorich amters. O Boron Trichloride ei ai le malosi tali mafai malosi ma mafai ona fausia le tele o fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia. O Bonron Trichlonide mafai ona tali atu ma le tioata ma cerammac pe a vevela, ma o loʻo tali atu foi ma le tele o pa okeni. Maualuga amio mama boron11 drichloride o loʻo faʻaaogaina tele mo faʻafitauli o loʻo i ai i le gaosiga gaioiga o (silik) O mea leaga o Boron e faia e ala i le pala o le BCL 3 ma le ese mai le silikini e fausia ai le P-ituaiga semicounductor i le vevela maualuga. E mafai foʻi ona faʻaaogaina le BCL 3 mo le faʻamamaina o le Esching o Al, MOS 2 , Ata 2 , Tisi 2 , WSI ma isi mea.
Tulaga lelei
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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Talosaga
O Broon Trichloride e mafai ona faʻaaogaina e gaosia ai le maualuga o le mama, catalyst mo le orgal synthesis, staxing sooga o le anications recoding ma karisi o le deoxidizer. O le maualuga o le mama boron11 drichlordide o loʻo faʻaaogaina tele i le le mautonu o loʻo i ai, oona i luga, mamago ma isi gaioiga i le sosolo i se corgimation doggication.
Afifiina ma teuina
O Boron11 Tricheride ua tumu i le kalone. O le Cylinder na tumu i Boron11 Trichloride o loʻo i ai i aiaiga talafeagai o le GB14193. O le afifiina o faʻamatalaga e aofia ai le 10L ma 47l.le oloa ua teuina i se paolo, mago ma ventimitō o le fale teu oloa i lalo ole 60 ℃ . E faasaina ona faʻaalia i le la ma e alu ese mai le vevela o le vevela. O le afifi e tatau ona faʻamau ma e tatau ona ofi ma alkali ma isi tala lamatia.
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